| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG ELASTISCHER DEFORMATIONEN MONTIERTER HALBLEITERCHIPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD299925(A7) |
申请公布日期 |
1992.05.14 |
| 申请号 |
DD19890329614 |
申请日期 |
1989.06.15 |
| 申请人 |
VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN |
发明人 |
KOTZERKE MARTIN DIPL ING;GRAFE JUERGEN DR ING |
| 分类号 |
G01N23/20;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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