发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04139872(A) 申请公布日期 1992.05.13
申请号 JP19900264364 申请日期 1990.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 SATO HIROAKI;SHIMOKAWA TAKEHISA
分类号 H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L35/00 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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