| 发明名称 |
CURING OVEN SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2220262(B) |
申请公布日期 |
1992.05.13 |
| 申请号 |
GB19890012900 |
申请日期 |
1989.06.05 |
| 申请人 |
* MOTOROLA INC |
发明人 |
ALBERT JOHN * LANINGA;MARJORIE SHEA * BAXTER |
| 分类号 |
H01L21/31;F27D5/00;H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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