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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04137650(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 JP19900257278 申请日期 1990.09.28
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AJIOKA TSUNEO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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