发明名称 METHOD OF MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号 US5112766(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 US19910730626 申请日期 1991.07.16
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUJII, TAKAYUKI;NAKATANI, MITSUNORI
分类号 H01L21/22;H01L21/338;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/812 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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