| 发明名称 |
DEVICE FOR EPITAXIAL GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04132681(A) |
申请公布日期 |
1992.05.06 |
| 申请号 |
JP19900254346 |
申请日期 |
1990.09.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;HASEGAWA FUMIO |
发明人 |
HASEGAWA FUMIO;KATAYAMA KOJI |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
