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发明名称
MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS AND ITS OPERATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04132215(A)
申请公布日期
1992.05.06
申请号
JP19900253730
申请日期
1990.09.21
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
ISHIOKA HISAMICHI
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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