发明名称 PRODUCTION OF SILICON CARBONITRIDE
摘要
申请公布号 JPH04130005(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900250091 申请日期 1990.09.21
申请人 UBE IND LTD 发明人 KAMITOKU YASUHIKO;SHIMAMURA TSUNEO;KITA TAKESHI
分类号 C01B21/082 主分类号 C01B21/082
代理机构 代理人
主权项
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