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发明名称 CAD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04130966(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900250312 申请日期 1990.09.21
申请人 NEC CORP;NIIGATA NIHON DENKI SOFUTOUEA KK 发明人 SAKAI MASAYA;MORIKAWA TAKASHI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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