发明名称 WAFER-SCALE-MEMORY AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04129239(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900250502 申请日期 1990.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOKORO MASAHIRO;SUZUKI TAKAAKI;NOMURA YUKIHIRO
分类号 H01L27/10;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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