发明名称 HEATING TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04128664(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900249187 申请日期 1990.09.19
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IWASAKI KAZUHIKO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址