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经营范围
发明名称
CRYOPUMP
摘要
申请公布号
JPH04128575(A)
申请公布日期
1992.04.30
申请号
JP19900248369
申请日期
1990.09.18
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MORI HARUHISA;SHINOZAKI ISAO
分类号
F04B37/08;H01J37/18;H01L21/265
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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