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发明名称 REMOVAL OF CONTAMINANT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04129208(A) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 JP19900250575 申请日期 1990.09.20
申请人 NEC CORP 发明人 SHIROUCHI TOSHIAKI
分类号 H01L23/02;H01L21/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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