| 摘要 |
<p>Un chariot d'axe Z/Thêta à deux modes de fonctionnement soutient et déplace une pièce telle qu'une tranche à semi-conducteurs vers la position qu'elle doit prendre pour être vérifiée. Le chariot Z/Thêta comporte un mécanisme de levage à quatre points périphériques. La suspension de levage comprend des axes de levage rigides, parallèles et orientés à la verticale, qui portent le poids d'un plateau supérieur. Les axes de levage sont situés sur le pourtour du chariot pour conférer un équilibre à l'élément de support. Le plateau supérieur est posé de manière essentiellement flottante sur les axes de levage de sorte que pratiquement aucune force de frottement ne leur est transmise. Les axes de levage sont soulevés ensemble par la force de quatre leviers de levage d'axe adaptés, ou des bras de leviers. Les bras de levier sont entraînés par une force descendante provenant d'un piston pneumatique à translation verticale placé en contact avec les bras de leviers (31). Le piston pneumatique produit une force légère modérée par la pression pneumatique qui peut modérer la force totale d'un moteur pas à pas qui l'actionne.</p> |
