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发明名称
FORMATION OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号
JPH04127527(A)
申请公布日期
1992.04.28
申请号
JP19900247476
申请日期
1990.09.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HOSODA TSUTOMU
分类号
C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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