发明名称 FORMATION OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH04127527(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 JP19900247476 申请日期 1990.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSODA TSUTOMU
分类号 C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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