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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04125928(A) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 JP19900246500 申请日期 1990.09.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTAKE TOSHIHIRO
分类号 C23F1/00;C23F1/08;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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