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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04124826(A)
申请公布日期
1992.04.24
申请号
JP19900244616
申请日期
1990.09.14
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OTAKE TOSHIHIRO
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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