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发明名称 TROCKENAETZVERFAHREN UND ANORDNUNG DAFUER.
摘要
申请公布号 DE3585654(D1) 申请公布日期 1992.04.23
申请号 DE19853585654 申请日期 1985.09.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SEKINE, MAKOTO C/O PATENT DIVISION;OKANO, HARUO C/O PATENT DIVISION;HORIIKE, YASUHIRO C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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