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发明名称 DEVICE FOR SYNTHESIZING DIAMONDLIKE CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH04119993(A) 申请公布日期 1992.04.21
申请号 JP19900238195 申请日期 1990.09.07
申请人 HITACHI KOKI CO LTD 发明人 NOTO NOBUHIRO
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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