| 发明名称 |
Method and apparatus for fabrication of micro-structures using non-planar, exposure beam lithography |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US5106455(A) |
申请公布日期 |
1992.04.21 |
| 申请号 |
US19910647659 |
申请日期 |
1991.01.28 |
| 申请人 |
SARCOS GROUP |
发明人 |
JACOBSEN, STEPHEN C.;WELLS, DAVID L.;DAVIS, CLARK;WOOD, JOHN E. |
| 分类号 |
B23K26/00;B23K15/00;B23K17/00;B23K26/08;B81B1/00;B81C99/00;G01P15/08;G01P15/09;G01P15/18;G03F7/20;G05B19/18;G12B1/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/48;H01L21/68;H01L41/09 |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
