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发明名称 UN PROCESO MEJORADO PARA DEPOSITAR UNA PELICULA SOBRE UN SUBSTRATO POR DEPOSICION QUIMICA DE VAPOR FOTOASISTIDA
摘要
申请公布号 MX163318(A) 申请公布日期 1992.04.20
申请号 MX19830197269 申请日期 1983.05.12
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 DAVID D. ALLRED;LEE WALTER;STANFORD R. OVSHINSKY;JAIME M. REYES
分类号 C23C16/04;C23C16/48;G03G5/08;(IPC1-7):C23C14/22;C23C14/28 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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