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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04116919(A) 申请公布日期 1992.04.17
申请号 JP19900237431 申请日期 1990.09.07
申请人 NEC CORP 发明人 KANO TSUNEO
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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