| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04116846(A) |
申请公布日期 |
1992.04.17 |
| 申请号 |
JP19900237800 |
申请日期 |
1990.09.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
IWAMATSU TOSHIAKI;SUGAHARA KAZUYUKI;INOUE YASUAKI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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