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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04114445(A) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 JP19900234686 申请日期 1990.09.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAWADA KEIICHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H04L1/14 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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