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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0470580(A3) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 EP19910113216 申请日期 1991.08.06
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA;OHMI, TADAHIRO;APPLIED MATERIALS JAPAN, INC. 发明人 YAMAGAMI, ATSUSHI;OKAMURA, NOBUYUKI;OHMI, TADAHIRO;GOTO, HARUHIRO HARRY;SHIBATA, NAO
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/34;H05H1/02;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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