发明名称 |
PROCESS FOR FORMING THIN FILM HAVING EXCELLENT INSULATING PROPERTY AND METALLIC SUBSTRATE COATED WITH INSULATING MATERIAL FORMED BY SAID PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0459482(A3) |
申请公布日期 |
1992.04.15 |
申请号 |
EP19910108865 |
申请日期 |
1991.05.29 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORPORATION |
发明人 |
TOKUMARU, SHINJI;HASHIMOTO, MISAO;MURATA, TOMOMI |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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