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发明名称 RESIST FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04107814(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900225663 申请日期 1990.08.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 MURAKAMI MASAAKI
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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