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发明名称
摘要
申请公布号 JPH04502088(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19890505952 申请日期 1989.05.05
申请人 发明人
分类号 C09K13/08;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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