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发明名称 MANUFACTURE OF DOUBLE-SIDED FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH04107939(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900227435 申请日期 1990.08.28
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 SUZUKI YOSHIHIDE;SUZUKI AYUMI;YABE SHUICHI;HORIBA YASUHIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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