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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH04103135(A) 申请公布日期 1992.04.06
申请号 JP19900221836 申请日期 1990.08.23
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 KATO YUICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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