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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04102319(A) 申请公布日期 1992.04.03
申请号 JP19900219116 申请日期 1990.08.22
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TAKAYAMA MICHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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