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经营范围
发明名称
VACUUM TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号
JPH04100222(A)
申请公布日期
1992.04.02
申请号
JP19900217031
申请日期
1990.08.20
申请人
ANELVA CORP
发明人
TSUKADA TSUTOMU
分类号
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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