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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0498825(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900216312 申请日期 1990.08.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAI SHINICHI;BAN YASUTAKA;KAWAMURA SEIICHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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