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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0499274(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900213313 申请日期 1990.08.10
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAMURA NORIO
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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