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发明名称 ION IMPLANTATION PROCESS CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0497539(A) 申请公布日期 1992.03.30
申请号 JP19900214268 申请日期 1990.08.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO IKUO
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/66 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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