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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0496230(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900206706 申请日期 1990.08.06
申请人 CANON INC 发明人 KAWAKADO YASUSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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