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发明名称 FILM CARRIER STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0496344(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900214149 申请日期 1990.08.13
申请人 TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK 发明人 HONMA RYOJI;TONE HIDEO;KAWASAKI SOICHI;WATANABE KOICHI;OHIRA HIROYUKI
分类号 H01L21/66;G01R1/04;H01L21/48 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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