| 摘要 |
La présente invention concerne un micro-accéléromètre à résonateurs sensible à des accélérations dans une première direction comprenant, entre deux plaques support, une plaque intercalaire gravée pour comporter: un cadre rectangulaire (10) dont les côtés s'étendent selon la première (x) et une deuxième (y) direction perpendiculaire à la première, ces directions étant orthogonales à une troisième direction (z); une masse sismique (11) intérieure au cadre; deux barres de suspension (S1, S2) s'étendant entre le cadre et la masse selon la deuxième direction, de part et d'autre de la masse, ces barres ayant la même épaisseur que la masse et le cadre selon la troisième direction et une faible largeur selon la première direction; deux éléments formant résonateurs (R1, R2) s'étendant entre le cadre et la masse et ayant une épaisseur faible selon la troisième direction. |
