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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0493031(A)
申请公布日期
1992.03.25
申请号
JP19900211212
申请日期
1990.08.09
申请人
NEC CORP
发明人
SAKAMOTO MITSURU
分类号
H01L21/205;H01L21/322
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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