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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0491422(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900206261 申请日期 1990.08.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FURUTA ISAO
分类号 H01L21/3205;H01L21/02;H01L21/8238;H01L23/52;H01L23/60;H01L27/092 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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