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发明名称 METHOD FOR THE PREPARATION OF A SILICON CARBIDE-SILICON NITRIDE COMPOSITE MEMBRANE FOR X-RAY LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 US5098515(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 US19900627270 申请日期 1990.12.14
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KASHIDA, MEGURU;KUBOTA, YOSHIHIRO;NAGATA, YOSHIHIKO
分类号 G03F1/08;G03F1/14;G03F1/16;H01L21/027 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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