发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0491429(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900203824 申请日期 1990.08.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE YASUNARI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址