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发明名称 WAFER SCALE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0485854(A) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 JP19900200633 申请日期 1990.07.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMASHITA KOICHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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