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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
US5097300(A)
申请公布日期
1992.03.17
申请号
US19900500200
申请日期
1990.03.27
申请人
SEIKO EPSON CORPORATION
发明人
TAKEUCHI, MASAHIRO
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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