发明名称 ILLUMINATOR
摘要
申请公布号 JPH0480760(A) 申请公布日期 1992.03.13
申请号 JP19900194284 申请日期 1990.07.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIMARU YASUSHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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