发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0478169(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900192277 申请日期 1990.07.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSHIDA SUMIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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