发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG LANGZEITSTABILER, SCHICHTBILDENDER LOESUNGEN FUER DOTIERUNGEN VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD298831(A5) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 DD19900338229 申请日期 1990.02.28
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 UNGER,BRITA,DE;HAEHNERT,MANFRED,DE;SCHADE,ULRICH,DE;VOGEL,KLAUS,DE;GERBER,THOMAS,DE
分类号 C30B31/04;H01L21/228;(IPC1-7):C30B31/04 主分类号 C30B31/04
代理机构 代理人
主权项
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