PLANAR MAGNETRON SPUTTERING DEVICE,申请号JP19900188836-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PLANAR MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0474861(A)	申请公布日期	1992.03.10
申请号	JP19900188836	申请日期	1990.07.16
申请人	FUJITSU LTD	发明人	SUZUKI MASAFUMI
分类号	C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
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