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经营范围
发明名称
ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
JPH0472728(A)
申请公布日期
1992.03.06
申请号
JP19900186254
申请日期
1990.07.13
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KATO YOSHIKAZU
分类号
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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