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发明名称 FORMATION OF AL-BASED WIRING
摘要
申请公布号 JPH0468533(A) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 JP19900182016 申请日期 1990.07.10
申请人 NEC CORP 发明人 AIZAWA KAZUO
分类号 H01L23/52;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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